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在快速热处理设备中，加热器需要在1300℃高温下保持尺寸稳定且不污染晶圆。我们采用粉末冶金结合热机械处理的工艺路线，制备出高性能钼材。

材料经过1800℃热等静压致密化，随后在1200℃进行热轧，累计变形量70%。该工艺使材料密度达到理论值的99.9%，室温抗拉强度650MPa，在1200℃高温下仍保持80MPa强度。

通过ICP-MS分析显示，材料关键杂质钠、钾、铁含量分别控制在0.5ppm、0.3ppm、15ppm以下。在1300℃/1000小时测试中，材料晶粒长大速率＜0.5μm/h，表面挥发物对晶圆的污染可忽略不计。